近日，杭州中芯晶圓半導體股份有限公司采購了數臺LUYOR-3105高強度紫外線燈，杭州中芯晶圓利用LUOYR-3105高強度紫外線燈檢查晶圓產品質量。質量工程師通過LUYOR-3105紫外線燈能夠激發晶圓表面落塵發出藍色熒光，來保證晶圓的產品質量。

LUOYR-3105高強度紫外線燈

LUOYR-3105高強度紫外線燈內置有5顆大功率紫外線365nm led，在38cm處紫外線強度達到10000uw，能夠激發wafer上 particle發出明亮熒光，目前在中國有數百臺LUYOR-3105 LED紫外線燈應用于晶圓企業。LUYOR-3105是一款便攜式紫外線燈，不僅能夠檢查制程機臺表面particle，可以選配臺式支架做為臺式紫外線燈使用。

美國路陽儀器設備有限公司是一家專業致力于特種光源研發、生產銷售的公司，主要產品有紫外光源、GFP激發光源、熒光檢漏用的紫外線手電筒、實驗室用的便攜式紫外線燈、臺式紫外線燈、紫外交聯儀、紫外透射臺、藍光透射臺、紫外分析儀等產品。為更進一步服務中國市場，2010年，在中國上海成立分公司-上海路陽儀器有限公司。2019年，隨著生命科學事業部的快速發展，美國路陽中國公司生命科學事業部獨立為子公司-上海路陽生物技術有限公司。

LUOYR-3105高強度紫外線燈檢查wafer表面質量

杭州中芯晶圓半導體股份有限公司是目前國內規模大、技術成熟、擁有自主核心技術的真正可量產半導體大硅片生產工廠。眾所周知，國內大尺寸硅片尤其是12英寸半導體大硅片的供應被國外企業所掌控，市場高度壟斷。 杭州中芯晶圓大硅片項目的建成投產，將改變國內半導體大硅片完全依賴國外的現狀，有效填補國內半導體大硅片供應的行業短板。在未來幾個月內，杭州中芯晶圓將完成12英寸生產線的設備安裝調試、工藝調試、品質認定等流程，在今年年底生產出高品質的12英寸半導體大硅片，明年初進入量產。12英寸半導體硅片生產線投產后，月產能能達到3萬片，并將適時啟動20萬片產能產線的擴產，將大大緩解我國半導體大硅片供應不足的局面。